Dans les industries des semi-conducteurs et de l'énergie solaire, l'inspection de la qualité est essentielle pour garantir la fiabilité et les performances des produits finis. Les technologies avancées d'imagerie infrarouge, telles que le SWIR et la microscopie par émission de photons, jouent un rôle clé dans la détection des défauts et des impuretés dans des matériaux comme le silicium et les wafers semi-conducteurs. En identifiant les imperfections dès les premières étapes du processus de fabrication, ces techniques d'inspection optimisent le rendement des produits et réduisent les risques de défaillance, contribuant ainsi à une production efficace et de haute qualité.
Nos solutions d'imagerie avancées, utilisant les technologies UV, SWIR et LWIR, permettent une détection précoce des défauts pour garantir une qualité supérieure des plaquettes. En corrigeant les imperfections en amont, nous aidons à optimiser l'efficacité de la production, à réduire les coûts de reprise, à augmenter le rendement et à maximiser le débit, améliorant ainsi le retour sur investissement des équipements.
De l'UV au LWIR, nos capacités couvrant un large spectre de longueurs d'onde offrent la polyvalence nécessaire pour une inspection précise des semi-conducteurs.
- UV (Ultraviolet 190 à 400 nm) : Offre une précision inégalée pour détecter les défauts microscopiques de surface à l'échelle nanométrique.
- SWIR (Proche infrarouge 0,9 à 1,7 μm) : Exploite la transparence du silicium pour un alignement précis lors des étapes d'empilement, de collage et d'encapsulation.
- LWIR (Infrarouge thermique 8 à 12 μm) : Surveille les profils thermiques et garantit l'uniformité, permettant des ajustements en temps réel des processus et réduisant les temps d'arrêt.
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Contactez-nousOptical metrology solutions to answer broad optical testing needs in lithography manufacturing
Lithography systems for the semiconductor industry rely on extremely complex laser sources and optical systems. The Phasics SID4 range spans from the ultraviolet (UV) to the longwave infrared (LWIR) and has been proven extremely valuable in the semiconductor industry for the qualification of such optical systems at their designed wavelength. Engineers in research and development or manufacturing use the SID4 wavefront sensors for laser sources and optical systems alignment and metrology.
UV and DUV laser system testing
The Phasics SID4 UV wavefront sensors give access to a complete laser characterization in a single measurement. SID4 UV wavefront sensors are the ideal tool to support lithography system manufacturers and integrators to align, qualify, and monitor their ultra-violet sources and systems.
Beam correction and control
Control of the laser quality and beam shaping with adaptive optics is applicable to lithography machines. The combination of SID4's unique wavefront sensor, OASys expert adaptive optics software, and dedicated deformable mirrors represent a robust solution for lithography machine manufacturers.
Wafer inspection
All along the lithography process, inspection of the wafers is performed. Inspection is a key part in the wafer manufacturing process. Coupling high dynamic range, nanometric wavefront sensitivities, and high resolution, Phasics' technology is a great candidate to be integrated in wafer inspection machines.
Inspection infrarouge des semi-conducteurs
L'inspection infrarouge des semi-conducteurs optimise les processus de fabrication en identifiant et localisant les défauts, garantissant une production de haute qualité à chaque étape : wafers, circuits et dispositifs encapsulés.
Microscopie par émission de photons : Cette technique avancée d'analyse de défaillance, utilisant des détecteurs SWIR InGaAs, détecte le rayonnement photonique des défauts causés par la recombinaison des porteurs. Elle permet une localisation précise et efficace des imperfections.
Inspection des lingots solaires : Les impuretés, vides et inclusions dans les briques et lingots de silicium peuvent entraîner des défaillances des composants. Les caméras SWIR InGaAs (Cheetah+, Wildcat+, Bobcat+, Manx, Lynx) détectent facilement ces défauts en utilisant des sources lumineuses émettant à des longueurs d'onde supérieures à 1150 nm. La transparence du silicium aux photons SWIR de longueurs d'onde permet aux contrôleurs d'examiner les lingots en profondeur.
Inspection thermique : Les caméras LWIR (série Ceres T) identifient les défauts thermiques et garantissent une répartition uniforme de la température durant la production des plaquettes, renforçant ainsi le contrôle qualité.
Nos caméras SWIR et LWIR offrent des outils efficaces et fiables pour la détection des défauts et l'optimisation des processus, garantissant une production de semi-conducteurs plus homogène et de meilleure qualité.
Caméras UV pour l'inspection des wafers
Les caméras UV sont des dispositifs remarquables pour l'inspection des wafers, offrant des capacités avancées pour les applications dans le domaine des semi-conducteurs. Nos caméras UV (iNocturn, i2Nocturn) fonctionnent dans la plage de 190 à 400 nm, capturant la lumière au-delà du spectre visible pour révéler des phénomènes invisibles à l'œil nu. Ces caméras intensifiées excellent dans la détection des défauts microscopiques et des résidus à travers diverses teintes, selon la source lumineuse, garantissant ainsi que les composants respectent les normes strictes de l'industrie.
Applications spécifiques des caméras UV en matière d'inspection des wafers :
- Inspection de la surface des wafers en fond noir
- Détection de défauts dans les masques et lors des inspections en ligne des wafers
- Analyse de l'épaisseur des couches grâce à la technique de l'ellipso métrie spectrale
