SID4 UV HR capteur de front d'onde
Plage spectrale UV (190 - 400 nm)
Le SID4 UV HR est un capteur de front d'onde UV haute résolution, sensible jusqu'à 190 nm, conçu pour les applications les plus exigeantes en métrologie laser UV et pour la qualification des systèmes optiques dans l'ultraviolet profond.
SID4 UV HR capteur de front d'onde
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Capteurs de front d'onde UV sensibles jusqu'à 190 nm
| Wavelength range | 190 - 400 nm |
| Aperture dimension | 13.3 x 13.3 mm² |
| Spatial resolution | 26 µm |
| Phase and intensity sampling | 512 x 512 |
| Resolution (Phase) | 2 nm RMS |
| Accuracy (Absolute) | 20 nm RMS |
| Acquisition rate | 10 Hz |
| Real-time processing frequency* | 3 fps (full resolution)* |
| Interface | GigE |
| Dimensions (WxHxL) | 80.3 x 78.6 x 108.2 mm³ |
| Weight | ~600 g |
*with PhaseStudio software
Description
Basé sur la technologie brevetée de Phasics, le capteur de front d'onde SID4 UV HR offre à la fois une résolution inégalée (512 × 512 points de mesure) et une très haute sensibilité (2 nm RMS) sur le spectre ultraviolet, de 190 à 400 nm.
Le SID4 UV HR est ainsi parfaitement adapté à la caractérisation de composants optiques (utilisés notamment en lithographie et dans l'industrie des semi-conducteurs), ainsi qu'à l'inspection de surfaces (lentilles et wafers).