SID4 UV HR wavefront sensor

SID4 UV HR capteur de front d'onde

Plage spectrale UV (190 - 400 nm)

Le SID4 UV HR est un capteur de front d'onde UV haute résolution, sensible jusqu'à 190 nm, conçu pour les applications les plus exigeantes en métrologie laser UV et pour la qualification des systèmes optiques dans l'ultraviolet profond.

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Sensitive down to 190 nm
High sensitivity – 2 nm RMS
Very high resolution (512 x 512 sampling)

SID4 UV HR capteur de front d'onde

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Informations techniques

Capteurs de front d'onde UV sensibles jusqu'à 190 nm

Wavelength range190 - 400 nm
Aperture dimension13.3 x 13.3 mm²
Spatial resolution26 µm
Phase and intensity sampling512 x 512
Resolution (Phase)2 nm RMS
Accuracy (Absolute)20 nm RMS
Acquisition rate10 Hz
Real-time processing frequency*3 fps (full resolution)*
InterfaceGigE
Dimensions (WxHxL)80.3 x 78.6 x 108.2 mm³
Weight~600 g

*with PhaseStudio software

Description

Basé sur la technologie brevetée de Phasics, le capteur de front d'onde SID4 UV HR offre à la fois une résolution inégalée (512 × 512 points de mesure) et une très haute sensibilité (2 nm RMS) sur le spectre ultraviolet, de 190 à 400 nm.

Le SID4 UV HR est ainsi parfaitement adapté à la caractérisation de composants optiques (utilisés notamment en lithographie et dans l'industrie des semi-conducteurs), ainsi qu'à l'inspection de surfaces (lentilles et wafers).

Documentation